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6430 亚FA程控源表

6430 产品技术资料

6430 产品技术资料

6430亚fA程控源表集合了吉时利源表 和源测量单元(SMU)产品的电压源和电流 源及测量功能,比静电计灵敏度更高,噪 声更低,输入阻抗更高。这种独特的性能 是通过6430远端前置放大器实现的,它提 供非常灵敏的双向放大器,用于测量或产 生被测试器件的电流。远端前置放大器输 出的高电平信号通过一条2米长的线缆发 送到控制主机上。这使得用户可以直接, 或者近距离连接该信号,减少线缆噪声 的影响。

主要特点:

  • 0.4fA p-p (4E-16A)噪声
  • 远端前置放大器可以位于信号源处以减少线缆噪声
  • 电压测量的输入阻抗>1016Ω
  • 高速——达2000读数/秒
  • 分辨率达6位半
  • 快速元件特性分析,带可编程数字I/O和接口

6430按照静电计无法达到的速度测量 电压、电流与电阻。它可以每秒读取最多 2000源/测量读数,读入内部存储器中。 可以测量快速小电流,100nA量程可响应 短至5ms的信号,较大量程可响应几百微 秒的信号。

6430的独特特点包括其优秀的低电 流灵敏度和远端前置放大器,这通过避 免长输入线缆发挥了灵敏度的作用。远 端前置放大器是6430反馈测量系统的主 要部分,虽然通过长达2米,带载高电平 信号的连接线缆它能离开主机一段距离 但是它不能独立于测量主机工作。

应用

6430的功能使其同样适于在测试实 验室的研究工作和复杂元件的评估,结 合其它源测量仪器或SMU用于在较高电平 上进行低电流、高电阻或高灵敏度的半 导体测量。6430的低噪声和漂移性能也非 常适合高阻性纳米线和其它高阻纳米材 料的研究。

高速数据处理

6430能以超过2000个读数/秒的速度 读至其内存缓冲器。IEEE-488总线输出能 每秒发送达75个源/测量读数至外部计算 机控制器,包括通过/失效指示。

6430能提供达2.2W的4象限源, 以及低至亚fA和微伏电平的测量 灵敏度。在高达20V,它能测量从 1pA量程(仅0.4fA峰峰值噪声)至 100mA量程的电流。可提供200mV至 200V的电压范围。电流和电压量程 设置定义了源或阱电压或电流的 最大值。

典型应用:

半导体测量

基于FET元件中的栅 极漏电或沟道漏电会在 MOSFET、FET、模拟开关和许 多其它电路中产生误差。通 过允许研究人员测量极低电 平的电流和电压,6430能帮 助他们了解这些元件的设计 局限以及研究替代器件的结 构或材料。

测量FET的栅极漏电和沟道电

SET研究

6430具有的优秀低电流测量能力(<0.4fA峰峰值)使其对于单电子晶体管 (SET)和量子点研究非常有用。使用类似于锁定的技术,6430能以1aA灵敏度测量 电流(10–18A=6电子/秒)。

低噪声和漂移

下图的数据表明6430在5小时期间内稳定性非常突出,而且短期的低噪声性能 优秀。使用6430的AUTOFILTER以5秒上升时间在1pA量程上实现微弱信号采集。插 图中的细节是滤波信号的截图,显示了6430型在最开始的100秒期间的低噪声性能 (仅200aA峰峰值)。在温度变化约1°C的实验室环境下提取数据,其中6430的IN/ OUT HI和SENSE引线接防护罩。

浓缩的测量指标1

电压测量准确度(4线感测)3

温度系数(0°C~18°C & 28°C~40°C):±(0.15×规定的准确度)/°C。附加的测量指标

附加的测量指标

输出建立时间(典型值为最终值的10%):<2s,1pA和10pA量程;<50ms,100pA 至10nA量程;<5ms,100nA至100mA量程。
电流噪声:在1分钟间隔观察时,90%的间隔中峰峰值噪声在400aA以内, 在使用Autofilter(5s 10% -90%的上升时间),使用三同轴连接器防护 罩,Autozero OFF、Source Delay=0,使用1pA量程至少3分钟的条件下。

电流测量准确度(2线或4线感测)4

温度系数(0°C-18°C & 28°C-40°C):±[(0.15×规定的准确度)+1fA]/°C。
输入电流:<3fA@23°C,<40%相对湿度;通常为±0.5fA/°C在23°C左右,<40% 相对湿度。

电阻测量准确度(4线感测带远端前置放大器)

输出电流模式,自动电阻

温度系数(0°C~18°C & 28°C~40°C):±(0.15×规定的准确度)/°C。
输出电流模式,手动电阻:不确定度总和=电流输出准确度+电压测量准确度 (四线测量)。
输出电压模式:不确定度总和=电压输出准确度+电流测量准确度(四线测 量)。
6线电阻模式:可使用有源电阻防护和防护检测(仅主机后面板)。防护输出 电流最大值:50mA。准确度取决于负载。查阅手册获取计算公式。
主机防护输出电阻:0.1Ω,电阻模式。

注解:

1.速度=10PLC,Autofilter ON,正确归零和稳定。
2.输出电流模式,I=0。
3.电压测量准确度不受远端前置放大器的影响。
4.电流测量准确度不受远端前置放大器影响;然而,1pA~100nA量程仅当 使用前置放大器时可用。
5.四线模式。
6.仅手动电阻模式。
7.激活源回读,失调补偿开。源时延必须设置为使源完全稳定才能读数。

浓缩的系统速度

测量1

量程变化速度的最大值:75/s。
单读数工作模式的读速度(读数/秒),在60Hz(50Hz)条件下:

浓缩的源指标4

电压设置准确度(4线感测)5

温度系数(0°C~18°C & 28°C~40°C):±(0.15×规定的准确度)/°C。
最大输出功率:2.2W(4象限源或阱工作)。
源/阱极限:±21V@±105mA,±210V@±10.5mA。
电压调整率:线路调整率:量程的0.01%。负载调整率:量程的0.01%+100μV。
噪声10Hz~1MHz(峰峰值):10mV。
过压保护:用户可选择,5%公差。工厂缺省为None。
电流钳制:双极性电流极限(容限)设为一个值。量程的0.1%(最小值)。

电流设置准确度(带远端前置放大器)

温度系数(0°C~18°C & 28°C~40°C):±(0.15×规定的准确度)/°C。
最大输出功率:2.2W(4象限源或阱工作)。
源/阱极限:±10.5mA@±210V,±105mA@±21V。
电流调整率:线路调整率:量程的0.01%。负载调整率:量程的0.01%+1fA。
电压极限:双极性电压极限(容限)设为一个值。量程的0.1%(最小值)。

注解:

1.读数速率可用于电压或电流测量。关闭自稳零,关闭自动量程,关 闭滤波器,关闭显示,触发延时=0,源自动清空,并且采用二进制读 数格式。
2.采用上限和数学下限进行通过/失效测试。
3.包含测量之前重新设置源至新电平的时间。
4.对于阱模式,1pA~100mA量程,准确度是±(0.15%+偏移*4)。
5.电压源准确度不受远端前置放大器的影响。

综合说明


负载阻抗:稳定至20000pF在100mA至100μA量程,470pF在10μA和1μA量 程,以及100pF在nA和pA量程。查阅用户手册获取大电容性负载测量的 详细说明。
共模电压:±42VDC最大值。
共模隔离:>109Ω,<1000pF。
过量程:量程的105%,源和测量。
输入/输出与测量端子之间的最大压降:5V。(为满足规定的准确度用4线测 量,请参阅用户手册。)
测试线电阻最大值:10Ω,对于额定准确度。
测试输入电阻:1MΩ。
主机防护偏置电压:300μV,典型值。
前置放大器防护偏置电压:1mV典型值。
前置放大器防护输出电阻:110kΩ。
源输出模式:固定直流电平,内存列表(混合功能),阶梯波扫描(线性和 对数)。
源内存列表:100点(最大值)。
内存缓冲区:5,000个读数/秒@5位半(2个2,500点缓冲区)。包括所选的测 量值和时间戳。锂电池备份(电池寿命超过3年)。
数字接口:
安全互锁:有源低电平输入:
处理程序接口:测试开始,测试结束,3类比特。+5V@300mA电源。
数字I/O:1触发输入、4 TTL/继电器驱动输出(33V@500mA阱、二极管钳 位)。
可编程性:IEEE-488(SCPI-1995.0),RS-232,5种用户定义的上电状态加上 出厂缺省设置和*RST。
电源:100V~240V有效值,50Hz~60Hz(上电时自动检测),100VA最大值。
EMC:符合欧盟指令89/336/EEC EN 55011,EN 50082-1,EN 61000-3-2和 61000-3-3,FCC第15部分Class B。
安全性:符合欧盟指令73/23/EEC EN 61010-1。
振动:MIL-PRF-28800F,Class 3。
预热时间:1小时达到额定准确度。
规格:89mm高×213mm宽×370mm深(3 1/2 in×8 3/8 in×14 9/16 in)。
测试台尺寸配置(带手柄和支脚):104mm高×238mm宽×370mm深(4 1/8 in×9 3/8 in×14 9/16 in)。
放大器:20mm高×57mm宽×97mm深(0.783 in×2.225 in×3.75 in)。
重量:5.9公斤(13磅)。
工作环境:工作条件:0°~40°C,60%相对湿度(不凝结)至35°C。在 35°~40°C范围内,相对湿度降低5%/°C。存储条件:–25°C~65°C,不凝 结的湿度。

订购信息

6430型亚fA程控源表

随机附件:

6430-322-1B
低噪声三同轴电缆,3槽三同轴至鳄鱼夹,20厘米(8in)
8607
安全性高压双测试线
CA-176-1E
前置放大器电缆,2米(6.6ft)
CA-186-1B
香蕉插头至螺钉端子适配器
CAP 31
3接线柱保护罩(2)
使用手册
 
可用到的附件
7007-1
屏蔽GPIB电缆,1米(3.3 ft)
007-2
屏蔽GPIB电缆,2米(6.6 ft)
7078-TRX-6IN
3槽、低噪声、0.15米(0.5 ft)防护三同轴电缆
8501-1
触发链路电缆,1米(3.3 ft)
8501-2
触发链路电缆,2米(6.6 ft)
8502
触发链路适配盒
8503
触发链路DIN至BNC触发电缆
KPCI-488LPA
IEEE-488接口/控制器用于PCI总线
KPXI-488
IEEE-488接口板用于PXI总线
KUSB-488A
IEEE-488 USB至GPIB接口适配器
可供服务
TRN-2400-1-C
课程:释放数字源表的能力
6430-3Y-EW
从出货之日起1年的质保期延长到3年
C/6430-3Y-IS
购买后3年内提供3次(ISO-17025认 证)校准*
*并非适用于所有国家